PhE-101 单波长/多波长自动椭圆偏振分析仪

PhE-101 Discrete wavelength  Ellipsometer (632.8nm wavelength)

椭圆偏振光谱技术是近年来随着现代科技的发展而迅速发展起来的是方法，它已越来越广泛的用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。
　　此红外椭圆偏振光谱仪（简称椭偏）是当今国际上唯一一种红外波段、单色仪分光形式的椭圆偏振光谱仪，它具有高准确度，高精度和比基于红外傅里叶光谱仪的椭偏光谱仪便宜得多等优点。
　　目前已有紫外-近红外波段椭圆偏振光谱仪、可见波段椭圆偏振光谱仪、单色椭偏仪等全波段系列产品，其性能参数国内领先、达到国际先进水平，是具有自主知识产权的高精度、高灵敏度分析测试科学仪器。以其国际一流的性能和性价比，已越来越多的销往美国、欧洲等国外市场。该仪器将成为国内外各研究单位、高等院校以及高新技术企业不可缺少的研究设备和测试分析仪器。

性能：                                                      Features:
光源：He-Ne激光器                                Spectrometer : 632.8nm
光斑直径: 1-3 mm                                     Beam diameter: 1-3mm
光束发散角: ≤0.1°                                Beam divergence: ≤0.1°
入射角范围: 20°to 90°，5°/步          Angle of incidence: 20°to 90°
重复性: Psi=±0.01°， Delta=±0.02°Repeatability: Psi=1±0.01°  Delta=1±0.02°              样品台：Φ160mm，Φ200mm（可选）  Sample stage: 160mm,200mm
显微光斑测量：10 微米（可选）

软件功能：
1.Microsoft Windows 32位操作环境；
2.集成化自动数据采集、数据分析软件；
3.模拟产生预期任何材料结构的椭偏参数Psi和Delta;
4.对实验数据进行回归分析拟合产生预期结果。对拟合结果进行90%可信度评价和给出拟合参数相关矩阵分析；
5.具有Cauchy、EMA和Lorenz等多种色散关系和大量数据库；
6.允许用户自定义色散模型；
7.具有数据和图形输出功能。