PHE-104(NS-IRSE-I) 红外椭圆偏振光谱仪

Spectroscopic ellipsometer PhE-104 for IR

(4000cm^-1 to 800cm^-1)

椭圆偏振光谱技术是近年来随着现代科技的发展而迅速发展起来的光学无损检测方法，它已越来越广泛的用于介电、半导体、金属、有机物等各种材料的光学特性、结构特征、生长过程和材料质量的快速测试与研究。
　　此红外椭圆偏振光谱仪（简称椭偏）是当今国际上唯一一种红外波段、单色仪分光形式的椭圆偏振光谱仪，它具有高准确度，高精度和比基于红外傅里叶光谱仪的椭偏光谱仪便宜得多等优点。
　　目前已有紫外-近红外波段椭圆偏振光谱仪、可见波段椭圆偏振光谱仪、单色椭偏仪等全波段系列产品，其性能参数国内领先、达到国际先进水平，是具有自主知识产权的高精度、高灵敏度分析测试科学仪器。以其国际一流的性能和性价比，已越来越多的销往美国、欧洲等国外市场。该仪器将成为国内外各研究单位、高等院校以及高新技术企业不可缺少的研究设备和测试分析仪器。

性能：                                    Features:
分光器：单色仪                     Spectrometer : Monochromator                              
光谱范围: 4000 - 800 cm-1     Spectral range: 4000cm^-1 to 800cm^-1
光谱分辨率: 4 cm-1                Spectral resolution: 4cm^-1
光斑直径: 3 mm                       Beam diameter: 1-3mm
光束发散角: 0.5°                  Beam divergence: 0.5℃
入射角范围: 20°to 90°自动连续可变        Angle of incidence: 20° to 90°
重复性: tan(Psi)=1±0.003 cos(Delta)=1±0.003   Repeatability: Psi=1±0.003 Delta=1±0.003

软件功能：
1. Microsoft Windows 32位操作环境；
2. 集成化自动数据采集、数据分析软件；
3. 模拟产生预期任何材料结构的椭偏参数Psi和Delta；
4. 对实验数据进行回归分析，拟合产生预期结果，对拟合结果进行90%可信度评价和给出拟合参数相关矩阵分析；
5. 全波长多角度同时数据拟合，EMA模型用于多成分化合物和表面粗糙度分析；
6. 具有Cauchy和Lorenz等多种色散关系和大量数据库；
7. 允许用户自定义色散模型；
8. 具有数据和图形输出功能。